한 장의 웨이퍼는 어떻게 반도체 칩이 될까? 기판·에피웨이퍼부터 완성 칩까지의 전체 공정
스마트폰, 자동차, 컴퓨터와 산업장비에 사용되는 반도체 칩은 처음부터 작은 사각형 형태로 만들어지는 것이 아닙니다. 먼저 고순도 단결정 소재를 원형 웨이퍼로 가공하고, 그 표면에 얇은 결정층과 복잡한 회로 구조를 형성한 후 개별 칩으로 절단합니다. 이 과정에는 단결정 성장, 웨이퍼 가공, 에피택시 성장, 박막 증착, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 금속 배선, 검사, 절단과 패키징 등 수많은 공정이 포함됩니다. […]
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