웨이퍼 사양 보는 법: TTV, Bow, Warp, Ra, 결정 방향의 의미
반도체 웨이퍼를 선택할 때 단순히 직경과 두께만 확인해서는 충분하지 않다. 같은 4인치, 6인치, 8인치 웨이퍼라도 표면 상태, 두께 균일도, 휨, 결정 방향, 저항률, 도핑 타입, 연마 방식에 따라 실제 적용 가능한 공정과 소자 성능이 크게 달라질 수 있다. 웨이퍼 사양서는 반도체 소재의 품질을 수치로 표현한 기술 문서이다. 이 문서에 포함된 TTV, Bow, Warp, Ra, SSP, […]
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