8인치 SiC 에피택셜 웨이퍼 양산 가이드: 에피층 두께·도핑 균일도·BPD 변환·에지 제외 영역과 표면 결함 관리
전기자동차, 급속 충전기, 산업용 전력변환장치, 에너지저장장치, AI 데이터센터용 전원 시스템의 고효율화가 진행되면서 SiC 전력반도체의 적용 범위가 빠르게 확대되고 있다. SiC 소자 제조에서는 기판 자체의 결정 품질도 중요하지만, 실제 활성 소자가 형성되는 에피택셜층의 품질이 소자의 항복전압, 누설전류, 온저항, 장기 신뢰성과 수율에 직접적인 영향을 미친다. 특히 생산 플랫폼이 기존 6인치에서 8인치(200 mm) SiC 웨이퍼로 확대되면서 단순히 웨이퍼 […]
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