차세대 초광대역갭 반도체 β-Ga₂O₃ 웨이퍼 선택 가이드: 결정 방향·도핑·결함 밀도·열전도와 전력소자 적용
실리콘 전력반도체의 성능 한계를 보완하기 위해 SiC와 GaN이 빠르게 상용화된 가운데, 더 넓은 밴드갭을 가진 산화갈륨(Ga₂O₃)이 차세대 전력반도체 소재로 주목받고 있다. 특히 열역학적으로 안정한 단사정계 구조의 베타상 산화갈륨(β-Ga₂O₃)은 약 4.5~4.9eV의 초광대역갭과 약 8MV/cm 수준으로 예상되는 높은 임계 전계 때문에 고전압 쇼트키 다이오드, 금속산화막 반도체 전계효과 트랜지스터, 극한 환경 전자소자 및 심자외선 광검출기용 소재로 연구되고 있다. […]
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